中古 ULTRATECH 1500 #9195910 を販売中

ULTRATECH 1500は、半導体製造におけるリソグラフィ用途に特化したウェハステッパーです。この装置は、直径200mmまでのウェーハに高解像度のパターンを作成することができ、より大きな集積回路の生産を可能にします。ステップサイズはわずか3ミクロンで、1500は非常に精度と精度の高い複雑なパターンや形状を生成し、ナノメートルスケールの特徴を生み出すことができます。さらに、このシステムは最大5：1の削減率を提供し、1ミクロン未満の機能を備えた非常に小さなパターンを生成する能力をユーザーに提供します。ULTRATECH 1500は、10：1の光学ズームユニットを使用して、最高レベルの露光精度と精度を実現しています。これはレーザー干渉計と組み合わされて、6自由度のすべての部品位置を検出します。つまり、すべての機能をウェーハ上に正しく配置できます。また、デュアルオートフォーカスツールを採用し、アライメントと位置決めの効率を向上させます。1500は高度なデジタルエレクトロニクスと高度なソフトウェアソリューションを利用しており、ユーザーは非常に効率的でカスタムメイドの露出プログラムを作成できます。これらのプログラムは、露出力、速度、フォーカスなど、各ウェーハのパラメータを正確に制御する機能をユーザーに提供します。さらに、ソフトウェアは、バッチ処理機能をユーザーに提供し、時間とお金の節約を可能にします。ULTRATECH 1500は非常に信頼性が高く安定しているように設計されており、機械の寿命にわたって一貫した性能を保証します。すべての資産のコンポーネントと機能は、最大の稼働時間と中断のない運用を提供するために構築されています。さらに、モデルはすべてのサイクルで自己診断を実行し、露出前に可能な問題を検出することができます。最後に、1500は効率的な操作とメンテナンスの容易さのために調整されています。この装置はロボットウェーハハンドリングシステムを内蔵しており、ローディングとアンロードを簡素化します。さらに、このマシンには、今後のメンテナンスの必要性を技術者に知らせるサービス表示が付属しています。