中古 ULTRATECH 1500 #9188727 を販売中

ULTRATECH 1500は、優れたイメージング性能と生産性を提供する高性能ウエハステッパーです。半導体ウェーハ上の集積回路（IC）デバイスの製造用に設計された自動機械です。モータ駆動装置を内蔵しており、イメージステッピングとセンタリングを正確に制御できます。1500は6から12インチまで及ぶ異なったウエハサイズを支えることができます。これは、低レベルと高レベルの両方の画像パワーで優れた逆画像の忠実性を提供するように設計されています。先進技術を活用したULTRATECH 1500は、より高速なスループットと光学性能の向上を実現します。1500は、イメージングステーションと高精度ステージの2つの主要コンポーネントで構成されています。イメージングステーションには、連続波レーザーダイオード、高出力ビームエキスパンダー、高NAプロジェクションレンズ、オートフォーカスユニットを含むソースと投影システムがあります。このイメージングマシンは、20nmの優れた空間分解能を提供することができます。高精度ステージは、適切な画像アライメントとカバレッジを確保するためにウェーハを正確に配置する責任があります。ウルトラテック1500は、ウエハを正確に配置するための先進的なCCDカメラと、ウエハステージを正確かつ再現可能にする2軸モーションコントロールツールを備えています。1500は、プロセスの安定性と再現性をさらに高めるために、露出パターン、画像シーケンス、および画像パラメータをプログラムできるソフトウェアを備えた統合コンピュータ資産を備えています。イメージングモデルには、ウェーハの検査と分析のための計測機器も内蔵されています。ULTRATECH 1500は卓越した性能を提供し、ICメーカーの高い要求に応えるように設計されています。堅牢な設計、高スループット、優れた画質により、高度な半導体デバイス製造プロセスに適しています。