中古 ULTRATECH 1500 #9182694 を販売中

ULTRATECH 1500は、集積回路（IC）製造のための基板処理の精度、スループット、および複雑さを最適化するために特別に設計された次世代ウェーハステッパーです。このデバイスは、高度な動的モーションコントロールを使用して基板上のトポグラフィを正確にスキャン、整列、およびフォーカスし、結果として得られるウェーハの欠陥レベルを低減します。精密なフォーカスとモーションコントロールを実現する6軸ダイナミックチューニングのエアベアリングを搭載し、2µm以上の解像度で周囲1µmのパターン配置精度を実現しています。このデバイスは、精密ステッピングモータと包括的なイメージング、パターニング、およびリソグラフィ機能を備えた半導体の開発を進めるために設計されています。自動走査スキャン機能を使用して、ウェーハの欠陥を迅速に検出および解決し、優れたレベルのウェーハ精度を保証します。最大スループットは250mm/secの最高速度で動作します。ステッパーへの迅速なアクセスを容易にするために、1500はまた、大規模な自動ローディングと輸送システムが装備されています。ULTRATECH 1500は、自動ウェーハアライメントや自動ティーチングなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能で設計されており、操作が容易でセットアップ時間が大幅に短縮されます。超高速ソート機能により、マイクロ欠陥やポリゴンパターンを分類して処理することができ、スループットを最大化できます。パターンライブラリを使用すると、カスタムパターンを迅速かつ正確に生成できます。このデバイスは、最高レベルの基板ゾーニング、品質管理、および均一性のためにも設計されています。洗練された光学短波長アライメントシステム、カスタマイズ可能なイメージパラメトリック、および広範囲の露出レベルで重要な露出プロセスを測定する特許取得済みの露出測定システム（EMS）を備えています。さらに、1500には冗長性スキームが装備されており、最高のウェーハスケジューリング効率を実現しています。結論として、ULTRATECH 1500は半導体開発において最高の精度、スループット、複雑性をもたらすように設計されたプレミアムウェーハステッパーです。精密なモーションコントロール、イメージパラメトリック、パターンライブラリ、最適化された基板ゾーニングにより、IC製造における高精度と品質管理を実現します。