中古 ULTRATECH 1500 #9098781 を販売中

ULTRATECH 1500
製造業者
ULTRATECH
モデル
1500
ID: 9098781
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
Stepper, 6" Currently de-installed 1995 vintage.
ULTRATECH 1500ウェーハステッパーは、精密フォトリソグラフィ用に設計された最先端の機械です。1500は、高度な技術と正確な光学技術の組み合わせを利用して、卓越した精度と再現性を備えた高解像度のマイクロチップとウェーハパターンを生成します。ULTRATECH 1500の中心には、ハイテク、高精度、ダイナミックモーター機器があります。このシステムにより、ステッパーはX-Y座標パスに沿って正確かつ迅速に移動し、必要に応じてビームフォーカスを調整できます。1500はまた露出カメラのあらゆる側面動きを償い、露出ビームの厳密な整列を保障する高度のビーム制御装置が装備されています。露光精度を最大限に高めるために、ディープセンシング光学機器と校正ツールを搭載し、露光板ごとに高精度でデジタル化された校正を行います。これにより、すべてのリトグラフがユーザーの仕様に正確であることが保証されます。1500には、露光時間、ビーム幅、露光パターンなど、さまざまな調整可能なパラメータが含まれています。光学アセットは露光中にこれらのパラメータを自動的に調整し、ユーザーはさまざまなウエハータイプに対応するために必要に応じてパラメータを変更できます。ウルトラテック1500には、露光機能に加えて、ウエハーや露光板の欠陥を検出・解析する高度なイメージセンサーやコンピューター制御の画像解析アルゴリズムも搭載しています。ウェーハの欠陥を検出、分析、分離することにより、1500はリソグラフィの品質を向上させるのに役立ちます。ULTRATECH 1500は最高の耐久性および長寿のために設計されています。堅牢な鉄骨フレーム、頑丈な構造、可動部品がない1500は、長年にわたって効率的かつエラーのない動作を可能にするように設計されています。さらに、マシンの低メンテナンス設計により、ダウンタイムとメンテナンスコストを最小限に抑えます。ULTRATECH 1500は、高精度のマイクロチップとウェーハパターンを高精度かつ再現性に優れた高精度なウェーハステッパーです。最先端の光学システム、調整可能なパラメータ、高度な画像解析機能を備えた1500は、フォトリソグラフィに最適です。
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