中古 ULTRATECH 1500 #9098778 を販売中

ULTRATECH 1500は、半導体産業における高スループットリソグラフィ要件向けに開発されたウェハステッパーです。このステッパーは、最新のコンタクトアライナー技術を使用して、再現可能な精度と均一性を備えた高解像度の画像を生成します。その高度な解像度機能により、製造メーカはライン幅を小さくし、アライメント公差をより厳しくすることができます。1500のアライナー技術により、ユーザーはウェーハをネイティブ位置からアライメントロボットの指定された出発点に素早く簡単に移動できます。このウェーハステッパーは、高解像度の干渉パターン認識装置を備えており、すべてのアライメント目標を一貫した精度で満たしています。その高速かつ簡単に調整可能なステップサイズにより、ユーザーは正確さを犠牲にすることなく、複数のフィールドを正確にステップすることができます。さらに、その柔軟なステージとモーター構成は、水平、垂直、回転運動を可能にします。これにより、ユーザーは単一のマシンサイクルでウェーハサーフェス全体をスキャンできます。さらに、このステッパーは高度なパターニング機能を提供し、ユーザーは簡単なモーションコマンドで高度なリソグラフィックパターンを生成することができます。ULTRATECH 1500はまた、ユーザーの柔軟性の向上と簡単に交換可能な部品の利便性を提供します。モジュール式の設計とプログラム可能な制御ユニットにより、エンジニアはアプリケーションのニーズに合わせてシステムを簡単にカスタマイズできます。さらに、ユーザーインターフェイスは使いやすく、迅速でエラーのないセットアップと操作を可能にする直感的なグラフィカルインターフェイスを提供します。また、1500は高度なウェットエッチング技術を採用し、高アスペクト比の設計を実現しています。これにより、パターンの柔軟性が向上し、プロセス制御が向上します。光学ユニットをアップグレードすることで、ステッパーはパターン忠実度を高めるために最大0。7ミクロンの分解能を達成することができます。このマシンはまた、製造プロセスを開始する前に潜在的なエラーを検出してフラグを付けることができる高度なパターン検証技術を提供します。全体として、ULTRATECH 1500はハイスループットリソグラフィと優れた汎用性を確保するために設計された最先端のウェハステッパーです。その高度な機能と高度なウェットエッチング技術により、ユーザーは最高の精度と複雑なパターンを達成することができます。