中古 ULTRATECH 1500 #9098777 を販売中

ULTRATECH 1500
製造業者
ULTRATECH
モデル
1500
ID: 9098777
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1999
Stepper, 6" Currently de-installed 1999 vintage.
ULTRATECH 1500ウェハステッパーは、半導体製造用に設計された高効率で高精度な機械です。高度な光学およびイメージング技術により、0。5 μ mの精度と再現性を備えた高解像度フォトマスクとウェーハリソグラフィを製造できます。6インチモーションステージ、多軸モーター、レンズ駆動装置、自動化されたアライメントシステム、フレームとステージアセンブリなど、さまざまな機能と機能を備えています。これらの機能はすべて、ポジショニングエラー、マスク変更に必要な時間、およびその他のセットアップ操作を大幅に削減します。さらに精度を高めるために、1500には2Dレーザーオートフォーカスユニットが装備されており、各ウェハが通過する際にビームに集中することができます。さらに、ステッパーは特許取得済みの高解像度ダークフィールドイメージングマシンを備えており、ウェハ表面の地形を正確にキャプチャします。これにより、ストリーキングのリスクを低減し、ユーザーはレチクルを必要とせずに、すばやくサーフェスを見つけてターゲット位置を見つけることができます。ULTRATECH 1500は、低ディストーション光学系と高度で汎用性の高い光源を備えており、さまざまなリソグラフィ処理を行うことができます。また、ウェーハの搬送と加工のための統合されたツールを備えており、すべてのウェーハが正確かつ均一に露出することを保証します。最後に、1500はユーザーフレンドリーなインターフェースを誇り、オペレータは資産の設定を素早く簡単にプログラムして監視することができます。この高度なウェーハステッパーは、高い信頼性、柔軟性、正確性を備えており、最も要求の厳しい半導体アプリケーションに幅広い機能を提供します。
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