中古 ULTRATECH 1500 #9098757 を販売中
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ULTRATECH 1500は、ULTRATECHが開発した最先端のウエハステッパーです。1500ウェーハステッパーは、高解像度の5軸アライメント装置を備えており、ナノメートルスケールの解像度でも比類のない精度と制御を提供します。この高度なシステムは、マイクロエレクトロニクスやフォトリソグラフィ分野のアプリケーションに適しています。ULTRATECH 1500は最大450mmのXY伝送が可能で、Z軸は最大30mmまで調整可能です。ステッパーにはCCD光学プロファイラが内蔵されており、最も要求の厳しいアプリケーションでもウェーハ表面を正確に画像化できます。1500は、リソグラフィーのパターンを半導体ウェーハに正確かつ正確にエッチングするために使用できます。ステッパーの5軸アライメントユニットは、パターンの細部がウェーハ表面に正しく転送されエッチングされることを保証します。ULTRATECH 1500は、クローズドループ位置フィードバックや保護エンクロージャなどの機能を備えた信頼性の高い製品です。さらに、1500はユーザーがセットアップするのが非常に簡単で、既存の任意のオートメーションマシンに統合することができます。ULTRATECH 1500のイメージング機能は、反射イメージングと伝送イメージングの両方に使用できるため、印象的です。これにより、異なるイメージングタスク間の簡素化と高速な切り替えが可能になります。ステッパーには、従来の光学系から位相シフターなどの先進的な光学系まで、幅広い選択肢があります。さらに、1500には、ウエハが正しい量のUV照明に適切にさらされていることを確認するための広範な診断ツールが付属しています。全体として、ULTRATECH 1500はマイクロエレクトロニクスの専門家にとって必須の最先端ステッパーです。最高の精度と制御を提供するように設計されており、幅広いイメージングおよびアライメント機能を備えています。1500は、利用可能な最も信頼性の高いウェーハステッパーの1つであり、さまざまな高精度マイクロエレクトロニクスおよびフォトリソグラフィー作業に最適です。
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