中古 ULTRATECH 1500 #9098755 を販売中

ULTRATECH 1500は、半導体装置およびプロセス制御ソリューションの業界リーダーであるULTRATECHによって開発された、最先端のウェーハステッパーです。独自の2段階プロセスを備えたステッパーは、高度な半導体デバイス構造の高速かつ正確なリソグラフィパターンを可能にするように設計されています。1500には、デバイスの製造を簡単かつ効率的にするためのさまざまな高度な機能も含まれています。ULTRATECH 1500の2段階プロセスは、クォーツレチクルをウェーハに装着することから始まります。レチクルにはマスターパターンが含まれており、ウエハを紫外線にさらすことでサブパターンの配列に変換されます。紫外線は、パターンサイズの範囲を拡張する水晶光学マスクを通過します。プロセスの第二段階は、乾燥またはウェットエッチングを介してウェーハにパターンを転送するか、または装置の直接書き込み操作を行い、複数の焦点を当てたイオンビームの配列を使用して高解像度パターニングを可能にします。1500には、フルレンジのVKI （Vacuum Kinetic Indexer）など、さまざまな高度な機能も搭載されており、動作範囲と精度の向上を可能にします。さらに、ステッパーにはオンボードキャリブレーションモジュールがあり、光路（フォーカス、収差）を測定し、最適化されたリソグラフィの目的で高解像度のリアルタイムフィードバックを提供するように設計されています。ULTRATECH 1500に不可欠な安全機能には、紫外線安全インターロック、オートリリース機能、避難/空気供給安全モジュールなどがあります。さらに、人間工学に基づいた設計により、オペレータの操作性を向上させ、製品のセットアップと操作を簡素化する統合されたタッチスクリーンインターフェイスを備えています。つまり、1500は高度な半導体デバイスを製造するための高度で高精度なウェーハステッパーです。独自の2段階プロセスにより露光時間を最小限に抑え、精密なリソグラフィパターニング<em>、</em>を可能にし、高度な機能を備えているため、オペレーターの操作性が向上し、効率と安全性が向上します。