中古 ULTRATECH 1500 #9098751 を販売中

ULTRATECH 1500は、株式会社ULTRATECH製の高精度ウエハステッパーです。これは、現代の半導体製造プロセスで使用されるフォトリソグラフィーシステムの重要なコンポーネントです。フォトマスクで発生したパターンを光源、光学、ステージスキャン、検出器などの一連のステップで半導体基板に正確に転送します。1500はサブミクロンのパターニングおよびオーバーレイ機能のための厳密な条件を満たすように設計されています。ステッパー操作に優れたモーション制御と高速パターニングに優れた直線性を提供するリニアモータ設計をベースにしています。ULTRATECH 1500は、露光プロセス中のパターン転送精度と安定性を最適化するためのopto-mechanicalシステムを搭載しています。先進的なマイクロレンズアレイ設計で、開口部が高いため、細い線に光を当てたり、小さな特徴を高精度に加工することができます。1500はまた改善された分野の均等性および速いスキャン速度によって高い生産性を提供します。独自の光学設計により、幾何学的な歪みや光収差を低減し、クリーンでシャープなパターンエッジを確保します。さらに、その高度な制御システムは、ステッパー露出サイクル全体にわたって優れた画質、パターンの均一性、およびオーバーレイ制御を確保するのに役立ちます。ULTRATECH 1500は、オンボードソフトウェアなどのユーザーフレンドリーな機能を強化して設計されており、物理的なインターフェイスなしでステッパー操作をリモートで制御できます。この機能により、重要なフォトリソグラフィーアプリケーションに非常に適しており、セットアップ時間を短縮できます。さらに、モータ制御ユニットを内蔵することで、モータ制御の向上、高速化、スムーズ化、高精度なパフォーマンスを実現します。レーザー干渉アライメントなどの高度な機能をフルに活用することで、1500は正確で反復可能なナノメートルスケールパターニングを実現します。ULTRATECH 1500は、半導体ウェーハのフォトリソグラフィに最適です。高精度なステージ性能と高度な光学設計により、高品質で費用対効果の高いウェーハフォトリソグラフィ製品を製造するための貴重なツールです。