中古 ULTRATECH 1500 #9098746 を販売中

ULTRATECH 1500は、製造メーカーがより高い歩留まりを持つ精密マイクロデバイスを生産するのに役立つ、高性能で先進的なウェーハステッパー装置です。ウェーハ製造装置の業界標準であり、集積回路装置、MEMS、薄膜、その他のマイクロ電子部品の製造に使用されています。1500システムは、最大20インチ×20インチの広い露出領域と、最大1ミクロンのアライメント精度を可能にする高精度なアライメントステージを備えています。このユニットは、248nmから384nmのKrFまたはArFリソグラフィ源のいずれかを選択できます。また、一貫した解像度、比類のないパターンの均一性、幅広い照明オプションを提供するWSCAN技術も組み込まれています。ULTRATECH 1500はまた、コンピュータ制御のウェーハ処理機や自動フォーカスモニターなど、最新のオートメーションツールを使用しています。フィルムやその他の基板の場合、その自動化されたウェーハプローバは、かなりの高さのバリエーションがある場合でも正確な配置を保証します。さらに、1500ツールは、高解像度CCDカメラや独自の画像強化アルゴリズムを含む最新のイメージング技術を使用して、画像を検査または抵抗開発のために処理します。また、フィルムの厚さを測定し、欠陥を特定できる計測アセットを内蔵しています。最後に、ULTRATECH 1500は、オペレータと環境を危険から保護するさまざまな優れた安全機能を備えた信頼性の高いモデルです。これらの機能には、システムが異常に高温、光漏れ、またはその他の危険な状態を検出したときの自動装置のシャットオフが含まれます。全体的に、1500は信頼性が高く、正確で正確な結果を製造業者に提供する高度なウェーハステッピングユニットです。露出面積が大きく、さまざまな自動化機能を備えており、収率の高いマイクロデバイスを製造するための業界で最も高性能で信頼性の高いマシンです。