中古 ULTRATECH 1500 #9098742 を販売中

ULTRATECH 1500ウェーハステッパーは、集積回路部品をウェーハ表面に印刷、検査、露出するために使用される高精度のコンピュータ制御機械です。この機械は、従来の設定の限界をはるかに超えた精度で印刷することができ、回路要素を非常に正確に配置することができます。1500はエキシマレーザーのような高出力の源を、0。1ミクロン小さい特徴サイズを選択的に露出するのに利用します。これは、ステッピングエラーを大幅に低減するためのエンコーダ安定化された2軸ステージと、レーザーの焦点を制御するための特別に設計された高解像度Zステージを備えています。ステッパーのソフトウェアパッケージは、印刷プロセスを正確に制御し、高度なアライメントと編集機能を備えています。精密なオートフォーカス機構を備えており、ウェーハ表面のレーザービームを+/-0。01ミクロンの精度で自動的に焦点を合わせることができます。ULTRATECH 1500の最大の特徴は、独自のイメージセンタリング装置です。このシステムは、MEMSシステムと高度なレーザー光学系の組み合わせを利用して、ウェーハ上の各画像を正確に集中させることで、マニュアルセンタリングの必要性を排除します。1500は、ULTRATECH多彩な処理ユニット（VPS）と連携して動作するように設計されており、複数の印刷回路を柔軟に配置できます。このマシンは、エッチング、スパッタリング、イオン注入など、いくつかの異なる種類の自動表面処理システムを統合することができます。ULTRATECH 1500は、繰り返し精度に特化して設計されており、量産に最適です。その印象的な速度と精度により、大幅なスループットを必要とする高精度アプリケーションに最適です。また、1500は、調整や校正が必要な場合にオペレータを検出し、プロンプトすることができる自己診断ツールを備えています。全体として、ULTRATECH 1500は高度なウェーハステッパーであり、高精度、高精度、信頼性の高い結果を提供するように設計されています。さまざまなサイズ、構成、価格帯で提供されているため、半導体製造に最適なソリューションです。