中古 ULTRATECH 1500 #9050208 を販売中

ULTRATECH 1500は、精密マスクリソグラフィ、ダイレクトライトリソグラフィ、レーザーアニーリング、その他の関連アプリケーションに精密で広い視野と高度な機能を提供するウェーハステッパーです。高解像度、デジタルイメージング機能、および+-35°の傾きを可能にする高さ調整可能なステージを備えた1500は、さまざまなフォトリソグラフィープロセスのための高精度で信頼性の高いツールです。ユニークなULTRATECH 1500には、生産中に交換できる2つの別々の光学アセンブリが装備されており、生産時間やコストを追加することなく、オペレーション間の迅速な変更を可能にします。利用可能な2つの光学アセンブリは、Quadrant TurretとSpecial Elementです。Quadrant Turretは、長い作業距離を持ち、45°の角度範囲を提供するため、大きなステップや複数のオブジェクトやパターンで正確な配置とアライメントを必要とするプロジェクトに最適です。より短い作動距離を持つSpecial Element光学アセンブリは、可変回折格子、ダイナミックパターニング、および大量生産のための高速書き込み用に構成することができます。1500は、正確で高精度なマルチエレメントパターンのための正確な線形運動を生成することができるプログラム可能な高度なモータ駆動システムを持っています。ULTRATECH 1500は、特許取得済みの露出制御システムにより、幅広い条件で高いスループットと優れた画像再現性を実現します。さらに、高度なカメラベースのシステムを統合し、高解像度のイメージングと優れたカスタマイズオプションを可能にします。ハードウェア機能を超えて、1500ソフトウェアはセットアップパラメータの高度な監視と制御を可能にします。これは専用のネットワーキング機能と組み合わせることで、データへの迅速なアクセス、調整、ツール機能のリモート制御により、オペレータはダウンタイムを削減し、生産性を向上させることができます。高度な機能と機能に加えて、ULTRATECH 1500には、ツールを損傷から保護するために特別に設計されたさまざまな高度な安全機能が含まれています。これらの機能には、エラーや緊急時のアラーム通知、重要なコンポーネントの温度監視、停電時の自動電源遮断などの自動シャットダウン機能があります。全体として、1500は超精密で高解像度のウェーハステッパーで、高解像度マスクリソグラフィ、ダイレクトライトリソグラフィ、レーザーアニーリングなどの関連プロセスに最適な機能と機能を提供します。