中古 ULTRATECH 1500 #9019700 を販売中

ULTRATECH 1500は、半導体製造の厳しいデバイス配置要求に対応するために設計されたウェーハステッパーです。ステッパーは、高度な電子ビーム（eビーム）リソグラフィーツールを使用して、高速スループットレートで高いアライメント精度と再現性を提供します。高加速リニアモーターステージを備え、高分解能かつ再現性の高い精度を維持しながら、短いスキャンタイムを実現します。1500はまた、ULTRATECH独自のSaber™アライメントシステムを使用して、困難なスループット要件を満たしながら、正確なX-Yアライメントを保証します。ULTRATECH 1500は、1-2 nmの解像度と450 mm x 450 mmのフィールドサイズのM4K電子ビームコラムを備えています。この単一のeビームカラムは、40nm以下のリソグラフィ構造を一貫して生成することができます。さらにスループットを向上させ、ターンアラウンドタイムを短縮するために、ステッパーはセルフキャリブレーティングユニットも提供します。このマシンは自動的にM4Kの電子ビームカラムをキャリブレーションし、次の公開前に各ジョブの後に「チューニング」操作を行います。1500は、センサレスアライメント、バーチャルアライメント、フォーカス測定を統合した完全に統合されたクローズドループウェハンドリングツールを採用しており、高い配置精度とスループットを実現しています。独自の組み込みアライメントツールを使用することで、ステッパーはウェーハを既知のリファレンスに自動的にアライメントすることができ、スループットを低減する手動アライメントプロセスを排除します。クローズドループのアセットにより、インラインフォーカス補正、自動ウェーハアライメント、低コストのマスク変更も容易になります。ULTRATECH 1500は高度に構成可能で、独自の生産ニーズを満たすためにパフォーマンスをカスタマイズするためのいくつかのオプションを提供します。オプションには、デュアルeビームコラム、超大型フィールドオプション、サブサンプリングとアライメントSubSaber™含まれます。Enhanced Performance Platform （EPP）も利用可能で、ユーザーはスキャン時間を短縮し、解像度と精度を向上させることができます。その機能に加えて、1500は信頼性が高く堅牢であり、堅牢なスループット品質の結果を提供します。このモデルの自動校正により、繰り返し可能なパフォーマンスが保証され、プラットフォームのプロアクティブなセキュリティ機能は機密データを保護するのに役立ちます。ステッパーはまた、ソフトウェアとハードウェアオプションのULTRATECHアーセナルによって補完することができ、機器を幅広いアプリケーションニーズに合わせて調整することができます。ULTRATECH 1500は、半導体メーカーがこれまで以上に正確なデバイス配置要件を迅速かつ確実に達成するのに役立つ汎用性の高いステッパーです。このシステムの高加速リニアモーターステージは、配置精度とスループットレートを向上させ、独自のSaber™アライメントユニットとSubSaber™サブサンプリングおよびアライメント機能により、手動プロセスを削減します。このマシンはまた、パフォーマンスを向上させるさまざまなオプションを備えているため、非常にカスタマイズ可能です。最後に、ステッパーの自動校正、セルフアライメント、およびインラインフォーカス補正機能により、メーカーはデバイスを毎回正確に配置することができます。