中古 ULTRATECH 1500 #9018358 を販売中

ULTRATECH 1500は、特許取得済みの回転スキャン露光システムを備えた先進的な生産スケールのウェーハステッパーです。それはマイクロエレクトロニクスの生産で使用するために高解像度のイメージングと結合される高性能のスキャン機能を提供します。1500はコンパクトで信頼性の高い設計で、複数のフォトマスクまたはウェーハを再現可能な結果で露出するための優れた性能を提供します。ULTRATECH 1500は、4つのウェーハステッピングアームを内蔵し、それぞれに2つの独立した露出システムを備えています。このステッパーのクラスタは、精密なリニアおよびロータリーアクチュエータによって駆動され、正確で再現性のあるアライメントを提供します。また、リニアアクチュエータとロータリーアクチュエータにより、高精度な同期とシームレスな動作を可能にし、スキャンスリットとウェーハを独立して制御できます。1500は、最大36 μ m （0。0014インチ）のサイズの精密画像を、15 μ m （0。0006インチ）の精密画像配置精度で作成することができます。ULTRATECH 1500は、最新の業界アルゴリズムを使用して画像の自動位置決め、登録、露出最適化を可能にする独自の画像処理モジュールを備えています。このモジュールは、1時間あたり最大40000の露出で、市場で最高の速度と精度を提供します。メイキング機能のいくつかは、細かい詳細のための1：1スケールの露出が含まれています。より大きい深さのための多数の露出；ウェーハショットの正確な画像シフト；そして自動イメージマスキング。さらに、1500はタッチスクリーンコントロールと視覚的なガイダンスを備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。この直感的で使いやすいGUIにより、簡単な調整と最小限のエラーで露出をプログラムできます。ULTRATECH 1500には、スキャン方向、画像の数、サブ露出画像、フィールド露出電力、用量など、露出パラメータのユーザー定義管理も含まれています。1500は、特に複雑なマイクロエレクトロニクス生産プロセスにおいて、幅広い用途に最適です。これは比類のないレベルの精度と精度を提供し、あらゆる生産環境にとって非常に貴重なツールです。