中古 ULTRATECH 1500 #293597692 を販売中

ULTRATECH 1500ウェーハステッパーは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される精密アライメントおよびイメージング装置です。基板の正確なアライメントを提供し、インライン構成とバッチ構成の両方で動作します。1500は、アライメントおよびイメージング中に基板を静止したままにするための差動メカニズムを利用しています。この機能により、時間とともに位置精度を維持し、各タスクと一貫した結果を提供することができます。電動Z軸を内蔵したULTRATECH 1500は、パターンに再現可能で正確な露光層を提供します。Return Exposure Control System （RECS）は、露出結果が業界標準に準拠していることを保証します。このユニットはまた、基板の上部と下部の両方から操作を見ることができるデュアルビュー機能を備えています。さらに、1500は200〜500mmの幅広いウエハサイズに対応しています。内蔵された高精度スピンドルドライブマシンは、必要なマスキング層まで、基板のサイズや材料に関係なく正確なアラインメントを可能にします。また、高速オートフォーカスカメラを内蔵し、0。0005mm以下の平面外厚さを検出することができます。ULTRATECH 1500は低消費電力レーザー光源計測を採用しており、その場での粒子検出も可能です。このツールは、多層ウェーハ検査アセット（MLWIS）も備えています。1500にはユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが付属しており、モデルのさまざまなパラメータを制御し、結果を監視するための直感的な方法を提供します。これにより、ユーザーは機器を素早くセットアップし、貴重なテストインサイトを得ることができます。システムがセットアップされると、後でレビューするためにデータをデータベースに直接エクスポートできます。全体として、ULTRATECH 1500ウェーハステッパーは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイス生産の要求の厳しいニーズのための強力で汎用性の高いツールです。正確なアライメントとイメージング機能と自動化された機能を組み合わせることで、幅広いアプリケーションに信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。