中古 ULTRATECH 1500 WAS #9302572 を販売中

ULTRATECH 1500 WASウェーハステッパーは、フォトマスクを生成するために使用される高度なツールです。このツールは、15〜150nmの機能を生成することができ、半導体デバイスのプロセスに最適です。スキャナー、ステッピングモーター、レチクルステージ、ソフトウェアなど、いくつかの異なるサブシステムで構成されています。走査器は入力装置およびレンズシステムとして機能し、ステッパーのための光源として機能します。精密光学系はUV放射を利用してウェーハに均一な光点サイズを提供し、各工程に必要な紫外線を供給しながらエネルギーを節約する調整が可能です。さらに、スキャナは2。25インチ正方形までのレチクルをスキャンすることができ、許容要件を満たすように調整できます。ステッピングモータは、位置精度と再現性を提供するダイレクトドライブステッピングモータです。レチクルステージを動かしながら、滑らかで振動のない性能を確保する慣性モーターを搭載しています。レチクルステージはウェーハを固定し、ステッピングモータは1/10ミリの小さな単位で移動します。次に、1500 WAS Wafer Stepperは、ステッパーとプロセスの各ステップのライトレベルを制御するための高度なソフトウェアパッケージを利用します。ソフトウェアパッケージは、プロセスの効率を最大化し、トータルサイクルタイムを短縮するように設計されています。これにより、オペレータは、フォトマスクを作成するためのさまざまなプロセスを選択することができます。さらに、ソフトウェアは、設定を手動で調整する必要がなく、プロセスのセットアップと実行を自動化することができます。最後に、ULTRATECH 1500 WASウェーハステッパーは、高い信頼性、精度、再現性を提供します。慣性モーターシステムは動きを減衰させ、ダイレクトドライブステッピングモーターは安全なレチクル位置決めを保証します。さらに、その精密UV光学系は、プロセス全体を通してウェーハに一貫した光点サイズを提供します。さらに、1500 WASウェーハステッパーは既存の半導体プロセスに容易に統合され、効率を最大限に高めます。結論として、ULTRATECH 1500 WAS Wafer Stepperは、高い再現性を備えた精密なフォトマスクを製造できる高度なツールです。慣性およびダイレクトドライブステッピングモータは正確なレチクル位置決めを保証し、精密紫外線光学はプロセスに均一な光点サイズを提供します。さらに、1500 WASウェーハステッパーは、既存の半導体プロセスに容易に統合され、フォトリソグラフィ用途に最適です。