中古 ULTRATECH 1500 WAS #9244230 を販売中

ULTRATECH 1500 WASは、高精度フォトリソグラフィ用途向けに設計された先進的なウェハステッパーです。集積回路（IC）チップ、液晶ディスプレイ、イメージングなど、幅広い半導体・光電子デバイスの加工に最適です。コンパクトで効率的な1500 WASは、ウェーハを毎秒1500mmまで動かすことができる5軸の完全自動ウェーハステッパーです。独自の設計により、光源と光学系の高精度な動きと正確なアライメントが保証されます。マスク座標を正確に整列させる高度な座標変換機能を搭載しています。また、業界標準のプログラマブル統合コントローラ（PIC）と高度なモーションコントロールアルゴリズムを備えており、堅牢で信頼性の高い動作を提供します。ULTRATECH 1500 WASは、サブミクロン精度で高解像度の画像を提供する独自のスキャン機構を備えています。露出チャンバーは最大24個のウェーハを同時に処理できるため、迅速かつ経済的なバッチ処理が可能です。高解像度露光光学は、レチクル歪みを低減し、プロセス歩留まりを向上させる技術「オーバーラップステッチ」と呼ばれる技術を実現するのに効率的です。ステッパーには、プロセス全体にわたって公差と精度を維持するための手動および自動アライメントが含まれています。1500 WASの洗練されたマイクロコントローラには、オペレータがすべての設定や機能にリモートでアクセスして管理できるようにするためのソフトウェアが内蔵されています。また、高レベルのデータ分析と制御をサポートする幅広い機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスを備えています。さらに、このマシンは業界標準のネットワーキングおよび転送プロトコルと互換性があり、簡単で安全なデータ転送が可能です。全体的に、ULTRATECH 1500 WASは、高品質の精密結果を提供することができる信頼性と強力なウェーハステッパーです。IC加工からフォトニック、オプトエレクトロニクスなどのデバイス加工に最適で、機械の優れた速度と精度により、先端技術の開発に不可欠なツールとなっています。