中古 ULTRATECH 1500 MVS #9306125 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSウェハステッパーは、リソグラフィおよび回路製造プロセスで使用される高精度の機械です。これは、複数の異なるタイプの半導体ウェーハにパターンを迅速かつ正確に露出するように設計されています。1500 MVSは、+または-5ミクロンの精度範囲を持つコンピュータ制御ステージを利用した3軸リソグラフィ機です。精密6軸ロータリーモーションステージを備え、0。5アーク秒の解像度を備えています。これにより、ユーザーはウェーハステッパーのレーザーの露出、配置、角度を正確に制御することができます。ULTRATECH 1500 MVSは、10,700°Fまでの温度を生成する高分解能可変パワーレーザー（最大10。6 μ mの波長）を内蔵しています。また、レーザービームをウェーハサイズに合わせることでレーザーからのエネルギー損失を最小限に抑える「ブランケット」機能も備えています。これは均一な露出を確保するのに役立ちます。1500 MVSウェーハステッパーは、忠実度の高いパターンを迅速に露出することができます。1 mmあたり最大10ラインのマスクを露出することができます。さらに、0。1から4。4までのアスペクト比でウェーハを正確に露出させることができます。このマシンにはマルチゾーンと粗い/細かいアライメントシステムも装備されているため、さまざまなクリアランス要件を持つアプリケーションに最適です。アライメントシステムは、ウェーハの露出領域が正確にアライメントされていることを確認するのに役立ちます。さらに、ユーザーがその場で露出パラメータを変更できるようにするソフトウェアプログラムを備えています。ULTRATECH 1500 MVSは、迅速なロード/アンロード時間と高速ステージ速度（最大0。3 mm/秒）を提供することにより、スループットを最大化するように設計されています。さらに、さまざまなウエハサイズやパターンを効率的かつ正確に処理するように設計されています。1500 MVSは、高度で信頼性の高いウェーハステッパーです。コンピュータ制御ステージ、高解像度レーザー、マルチゾーンアライメントシステム、高速ローディングおよびアンロード機能により、量産作業に最適です。