中古 ULTRATECH 1500 MVS #9280621 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSウェーハステッパーは、高解像度の半導体マイクロチップを動かすように設計された、高性能でフルフィールドプログラマブルなリソグラフィ装置です。このマシンは、リソグラフィ、制御システム、およびイメージング技術の最新の進歩を組み込んだ高度な設計プラットフォームを備えています。1500 MVSは、優れた精度、再現性、および画像忠実性を提供します。ウエハー、マスク、ホイルなどあらゆる基板のイメージングが可能です。システムは完全に自動化されており、最速かつ最も正確な操作を可能にします。ULTRATECH 1500 MVSは、運動学、精密モータ、干渉計、画像処理を利用して、ウェーハを画像領域に正確かつ正確に移動させます。光学設計により、最大の単位使用率を実現し、最速かつ最高解像度の画像を可能にします。このマシンは、ウェーハの位置と回転を追跡および調整する2つの干渉計を使用します。1500 MVSには、高速イメージセンサー、コンピュータ、および制御ソフトウェアも含まれており、完全なプログラム可能なリソグラフィーツールを提供します。ULTRATECH 1500 MVSは、5ミクロン分解能で8インチまでの基板に対応できます。このアセットにより、基板ごとに数千のウェハサイトを配置することができ、半導体デバイスの大量製造が可能になります。アライメント精度は+/-0。2micronで、結果として得られる製品の優れた電気性能を実現します。1500 MVSは、再現可能な精度と忠実度の高いイメージングにより、要求の厳しい高性能アプリケーションに最適なソリューションです。ULTRATECH 1500 MVSには、高速画像追跡、ステップアンドリピート、スポットリソグラフィープログラムなど、さまざまな機能が搭載されており、各ウェーハに正確に機能を配置できます。このモデルには、レンズ、バッフル、LEDなどの事前校正された光学要素の包括的なライブラリも付属しています。1500 MVSは、さまざまな種類の露出プログラムを実行することができるため、さまざまな画像を撮影するための汎用性の高いツールです。高度なイメージング機能に加えて、ULTRATECH 1500 MVSには、マルチサイトウェーハのサポート、プログラマブルスキャンレート、可変ボリュームマスク、クラス最高のパフォーマンスの自動レベリングなどの高度なパフォーマンス機能が搭載されています。このマシンは、統合スキャナや自動ローディングデバイスなどのオプションのアクセサリを介してさらにカスタマイズすることができます。1500 MVSは業界グレードのウェーハステッパーで、優れた性能と信頼性を提供できます。高精度のイメージング機能、高度な制御装置、堅牢な構造により、大量の半導体製造に最適です。