中古 ULTRATECH 1500 MVS #9276419 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSウェーハステッパーは、0。25 μ m（マイクロメートル）の小さなオブジェクトやパターンをウェーハに配置するように設計された高度に自動化された光学リソグラフィーシステムで、品質保証のための優れた「アップフロント」測定機能を備えています。この強力なツールは、高度な光学技術、機械技術、およびプロセス技術を組み合わせて、高い歩留まりを持つウェーハを迅速に製造することができます。1500 MVSの中心には、光強度を最大化し、画質を最適化し、最高解像度の書き込み能力を提供するように設計された精密光学プラットフォームがあります。UV照明と高度に自動化されたレンズは、光源を配置し、パターンの精度を高めます。さらに、システムのサーボ制御テーブル、モーター、およびシャッターは、ウェーハの配置を最適化し、高い均一性とアライメント精度を返します。MVSプラットフォームはまた、高速な画像書き込みとウェーハの反り評価のための強力なベクトルプロセッサを備えています。ULTRATECH 1500 MVSはまた、いくつかの汎用性の高いパフォーマンス機能を提供します。イメージスキャンとステップアンドリピート機能により、複数のフィールドサイズと設計密度の効率的な書き込みと検証が可能になり、同時に書き込み済みおよび空白のウェハイメージが表示されます。高速ベクトルプロセッサは、グレースケール出力もサポートしており、ユーザーは素早く分割してウェーハを断面化することができます。さらに、1500 MVSには、生産性を向上させ、コストを削減するさまざまなオートメーション機能があります。強化されたエッジ検出と高度な制御アルゴリズムにより、ウェーハまたはバッチごとに正しいレシピが迅速に作成され、スループットが向上します。自動ウェーハとレチクルの識別、正確な位置測定、自動プロセスの切り替えなどの統合プロセスは、すべて持続的なスループットと高い歩留まりを促進します。ULTRATECH 1500 MVSは、強力で機能豊富なウェーハステッパーで、さまざまなプロジェクトで高収率と均一性を一貫して提供します。洗練された光学プラットフォーム、精密な制御、さまざまなオートメーション機能を備えたこのシステムは、信頼性の高い効率的な高解像度リソグラフィーソリューションを必要とする組織にとって理想的な選択肢です。