中古 ULTRATECH 1500 MVS #9267164 を販売中

ULTRATECH 1500 MVS （Multichannel Vibrating Sample）は、半導体製造および研究用途向けに設計された全自動、高精度ウェーハステッパーです。この装置は、サブミクロン精度でウェーハの微細な特徴を正確に測定するように設計されており、さまざまな基板サイズや形状に対応するように構成することができます。この機械は、結晶構造、ドーピング濃度、地形、表面組成、電気特性、およびその他のパラメータを分析することができます。その中核となるシステムは、サンプルの準備、測定、分析という3つのサブシステムで構成されています。サンプル調製ユニットは、機械の重要なコンポーネントであり、自動ウェットエッチングツールと基板の調製と取り扱いのためのさまざまなアクセサリが含まれています。このアセットは、一度に最大4つのウェーハを処理でき、繰り返し可能な結果と一貫した品質を提供します。測定サブシステムには2つの平面駆動ステージが装備されており、基板をスキャンする際の高精度と再現性を確保します。ステージはサンプル準備モデルよりも広い範囲で基板をスキャンすることができ、より詳細な分析が可能です。マッピング手順は、ダイナミックレンジと精度の高い1軸スキャンミラーによって行われます。最後に、分析サブシステムは、製造や研究に必要なパラメータを決定するための測定データの包括的な後処理を提供します。データをスケーリングして処理し、評価用のリアルタイムおよび3Dグラフィックディスプレイを作成できます。1500 MVSは非常に汎用性が高く精密なウェーハステッパーであり、サンプルの自動調製、測定、分析サブシステムで簡単に操作できます。構成を変更して機器を特定のアプリケーションのニーズに合わせて調整することができ、グラフィカルデータディスプレイは非常に有益であり、正確な測定を生成するために迅速かつ簡単に操作することができます。優れた性能と柔軟性を兼ね備えたULTRATECH 1500 MVSは、半導体や研究用途において比類のないレベルの精度と使いやすさを提供します。