中古 ULTRATECH 1500 MVS #9256268 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSは、半導体デバイスの製造用に設計されたウェハステッパーまたはリソグラフィーマシンです。この機械はステップアンドリピートプロセスを使用して、細かくパターン化された接着層と、サブミクロメーターからマクロまでの部品ジオメトリ機能と構造を備えたフォトレジスト被覆基板を露出します。このシステムは、オートフォーカス機能を備えた幅広いユーザー選択可能な基板サイズを備えており、正確さを保証します。1500 MVSは、プログラム可能な二軸スキャンモーションシステムを使用して、スキャン範囲全体にわたってマスクアライメントと測定精度を実現します。その高度なスキャン技術と結果として得られる安定性により、チップ上の小型および小型の機能の露出が可能になります。また、フルスキャン範囲全体にわたって真に均一なスキャン速度を提供します。ステッパーには、20〜 mのピッチ精度、100〜100 mm（またはそれ以上）の動作範囲、および最大500 mm/秒のスキャン速度を可能にする陰極線管ベースのウェーハステージが装備されており、リソグラフィのための迅速かつ正確なウェーハ位置決めとアライメントを可能にします。さらにオートフォーカス機能を備えており、アライメント精度と再現性をさらに向上させます。全体的なシステムはモジュラー設計で構築されており、簡単なカスタム構成と迅速なセットアップが可能です。また「、リーン設計」により不要な部品や部品の摩耗を低減し、メンテナンス回数を減らし、ダウンタイムを最小限に抑えて生産性を向上させる信頼性の高い機械を提供します。ULTRATECH 1500 MVSの追加の特徴は、調整可能な自動傾斜位置決め機能であり、さまざまな基板表面およびコンポーネントに準拠できます。ステッパーは、カセットの自動ロード/アンロードとバーコードリーダーを備え、1時間あたり最大160ウェハを実行するように設計されており、高効率で正確なリソグラフィ性能を実現しています。結論として、1500 MVSは信頼性と再現性の高いパフォーマンスを提供する優れたウェーハステッパーです。機械は非常に速く、セットアップが容易で、調節可能な傾きの機能のあらゆるタイプの基質のサイズを扱うことができます。それはあらゆるリソグラフィーのプロセスのための理想的な機械です。