中古 ULTRATECH 1500 MVS #9213339 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSは、マイクロチップ製造における光学リソグラフィ用に設計された先進的なウェハステッパーです。ウェーハ上で非常に小さな機能を生成し、時間を大幅に削減し、チップ製造の効率を向上させることができます。1500 MVSには広い視野があり、大きなウェーハや小さなウェーハのグループで同時に作業できます。6。35等ズーム、高重力歪み補正、広い視野を備えています。これは、高度なレーザー技術を使用して、希望するマイクロチップの正確な仕様を一致させるビアやコンタクトなどのウェーハ表面に小さな機能を作成します。ステッパーは、最も集中的な条件で動作するように構築されており、半導体業界で必要な長時間および高精度に適しています。この装置には、正確なx、 y、およびzの位置と方向のための超高精度のアライメントステージが装備されています。システムレベルのランタイム機能には、オートフォーカス、露出制御、線量制御、アライメント制御などがあります。このユニットには、一度に複数のウェルウェルウェーハを処理するための高速トラックと、より小さな機能のために最高の精度を確保するための高度なイメージング技術が含まれています。ULTRATECH 1500 MVSは、スモールダイ用途における単一および複数露光用途に適しています。高い稼働時間、高速サブミクロン処理、および精度の向上により、マイクロチップの製造における光学リソグラフィープロセスに最適です。ウェーハの品質を確保するために、1500 MVSマシンはエッジ検出とOCR機能を備えて設計されており、仕様外の結果を低減します。全体として、ULTRATECH 1500 MVSウェーハステッパーは、効率的で正確で再現性のあるリソグラフィープロセスを実現するために構築された信頼性の高いプラットフォームを提供します。その高速性、精度、再現性により、産業および研究レベルの作業に最適であり、すべてのプロジェクトで優れた結果をもたらします。