中古 ULTRATECH 1500 MVS #9188728 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSウェハステッパーは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用に特別に設計されたリソグラフィ装置です。このツールは、高精度のアライメントとイメージングを可能にする高度な技術と機能を備えています。このシステムは、サブ100 nmデバイスの製造と生産に最適です。1500 MVSは160 mmウェーハステージを備えており、均一性のための自動アライメントを備えています。さらに、ウエハステッパーには超高速ステッパー/スキャナと30 µsのスキャン時間があります。この技術的に高度なウェーハステッパーは、画像平面全体にわたって1 µm未満の解像度を達成することができます。また、幅広い露出とフォーカス機能を備えており、ワークフローの柔軟性が向上します。ULTRATECH 1500 MVSは、キセノン、UV発光ダイオード（LED）、レーザー誘導イメージングなどの幅広い照明源を使用して、比類のない精度と再現性を実現します。さらに、ウェーハステッパーは、複雑なデータ操作のための使いやすいツールを提供する高度な機械固有のソフトウェアでプログラムすることができます。1500 MVSには、堅牢な露出とフォーカスコントロールユニットが装備されています。この最先端のマシンは、さまざまなイメージングニーズに対応するために、多種多様なレンズを利用する能力を持っています。さらに、ウェーハステッパーは、最大4つのサブフィールドの露出とフォーカスを正確に調整する調整ツールも備えています。結論として、ULTRATECH 1500 MVSウェハステッパーは、半導体デバイスを正確かつ効率的に製造するために設計された強力なリソグラフィーツールです。優れたパフォーマンスと歩留まりを提供し、自動アライメント、露出、フォーカス制御のためのさまざまな技術と機能を備えています。1500 MVSは、高速で信頼性の高いリソグラフィおよびマイクロエレクトロニクス機器の製造に最適です。