中古 ULTRATECH 1500 MVS #9188725 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSは、大容量、低コストのウェーハレチクル露出用に特別に設計されたスタンドアロンのウェーハステッパーです。ステッパーは0。2マイクロメートルの小さい特徴サイズに精密な直線を提供することができます。それに全分野の照明の優秀な均等性を保障する独特なスキャンのマスクのAlignerの設計があり、マスクの頭部はウェーハの整列の正確さを保障し、ウェビングおよびゆがみの効果をかなり減らす特許を取られた解決、スキャン位置ロック（SPL）のメカニズムが装備されています。1500 MVSシステムは、1回のパスで1時間あたり650ウェーハのスループットを提供することができ、調整可能なパワーとパルス幅を備えた非常に安定した低歪みのキセノン水銀光源を提供することができる、マルチステージインデックスステッパープラテン技術を備えています。このシステムは、すべての軸に+/-2ミクロンの再現性を備えています。さらに、ULTRATECH 1500 MVSには、フィールド歪みのリアルタイム自動補正を可能にするAutoFieldAlignなどのさまざまな強力な機能が搭載されています。MultiFlashは、単一のコーティングプレートからの複数の露出の最大20シーケンスのプログラミングを可能にします。高度な光学センサーを使用してウェーハアライメントをオンザフライで監視し、それに応じて自動的に照明を調整するアダプティブ露出。1500 MVSは、ウェーハレチクル露出のための信頼性と費用対効果の高いソリューションであり、特に大量生産のニーズに適しています。安定したキセノン光源により、一貫した照明レベルが保証され、柔軟なプログラミングオプションとリアルタイム自動補正機能により、精度と再現性が保証されます。短期プロジェクト、頻繁な製品変更、高品質のウェーハレチクルの製造に最適なシステムです。