中古 ULTRATECH 1500 MVS #293751911 を販売中

ULTRATECH 1500 MVS （Multi-Vendor Stepper）は、半導体集積回路（IC）の製造に使用される高分解能イメージング、層発生装置、多波長露光、高生産性を可能にする最先端のフォトリソグラフィーツールです。ステッパー装置は、高解像度レンズとイメージングシステム、照明源、所定の移動を行うためのステージ、およびレチクルチャックを含む光学ツールです。ステッパーは、製品のパターンをウェーハにエッチングするために、高解像度の光学系とレイヤードジオメトリに依存しています。1500 MVSは、差動干渉コントラスト（DIC）イメージング、ステッピングマシンテレセントリシティを備えた高コントラストで高解像度のフォトアライメントユニットを備えており、この技術は最大23nmの解像度のアプリケーションで処理できるレチクルとウェーハの高精度と高い比率を保証します。ステッピングツールの多波長露光機能は、紫外線（UV）と極端な紫外線（EUV）イメージングからの波長の組み合わせで、複数の層と基板のイメージングを可能にします。さらに、レイヤージェネレータとOPC （Dynamic Optical Proximity Correction）技術により、パターンイメージを迅速に分析し、その場で補正を作成することができます。アセットは、アプリケーションや設計要件に応じて、ウェーハサイズ、パターンサイズ、レイヤなどの複雑な設定配列を設定することもできます。ULTRATECH 1500 MVSには、クリーンチャンバー環境を維持し、高品質のイメージングおよびウェーハステッピングプロセスを保証するための多くの高度な機能も含まれています。これは、精度のための位置フィードバックモデル、モーター作業フロー管理のためのモーター制御センター、ステッパー運動システムの動きを調整するための軸制御装置を含む、複数のステッパー運動制御オプションを提供しています。このユニットは、ユーザー定義のプロセス設定用のプロセス制御ソフトウェアなどの高度なプロセス分析技術も提供しています。一貫した結果と優れた品質を確保するために、1500 MVSは複数のビューフィールドを使用して、イメージングマシンから校正された情報をコントローラに供給します。これにより、ユーザーはパターンのすべての領域を検証し、修正が必要なプロセスの欠陥を検出することができます。ULTRATECH 1500 MVSは、優れた画像解像度、高スループット、信頼性と再現性の高い結果を提供する高度なリソグラフィーツールです。このツールは、半導体デバイスの製造に最適であり、その高度な機能により、生産プロセスで強力で効果的なツールとなります。