中古 ULTRATECH 1500 MVS #293596107 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSは、フォトリソグラフィ用の完全自動化された最先端のウェーハステッパーです。1500MVSは、ディープU/V （Ultra-Violet）リソグラフィの高性能を利用して、半導体ウェーハ上に複雑な回路機能を作成する際に高い精度と精度を提供します。ULTRATECH 1500 MVSは、ウェーハとフォトマスクの正確で反復可能なアライメントを容易にするように設計されています。高精度な光学アライメントにより、高精度で一貫したフォトエングレーブが保証されます。これは、機能回路デバイスの製造に不可欠です。1500 MVSは、最大10個のシリコンウェーハを同時に収容でき、高スループット生産が可能です。ULTRATECH 1500 MVSは、マスクの正確な位置を測定する高解像度カメラや、マスクに関してウェーハの正確な位置を追跡するステッパーアライメントエンコーダなど、フォトリソグラフィの精度と性能を向上させるいくつかの機能を提供します。さらに、高精度の光学アライメントターゲットをシステムに組み込み、パターン配置を再現可能にします。1500 MVSはまた、アクティブなランタイムスループット最適化アルゴリズムを備えており、各本番稼働の歩留まりと効率を最大化します。さまざまな機能、解像度、オーバーレイ、マテリアルの複数のレイヤーを1回の実行で処理することができ、複雑なデバイスの製造における前例のないパフォーマンスを可能にします。ULTRATECH 1500 MVSのマシンインタフェースは、生産作業をさらに簡素化し、タイトなプロセスパラメータ制御を可能にします。全体として、1500 MVSは非常に高度なウェーハステッパーであり、一貫した結果と高精度の超高解像度、技術的および機能的に複雑なデバイスを製造することができます。ULTRATECH 1500 MVSは、半導体デバイス製造などの複雑で要求の厳しい製造プロセスに最適です。