中古 ULTRATECH 1100W #131417 を販売中

ULTRATECH 1100W
ID: 131417
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1989
Wafer stepper, 6" Oblong chucks Fitted with small cross masks for better alignment accuracy is a 1:1 projection Lens quoted in the range of 0.9 to 1.25 depending on Numerical aperture, but for production 1.25 micron Operation and maintenance manuals Last software installation 2004 Powered up 1989 vintage.
ULTRATECH 1100Wウェーハステッパーは、半導体製造プロセスで使用される強力なツールで、ウェーハにマイクロストラクチャーを印刷します。光ベースのスキャニングアプローチを利用して、精度と再現性を備えた連続的なプリント機能を生成します。このステッパーは、高精度と機能分解能を提供し、迅速かつ効率的なウェーハ処理を可能にします。装置は高さで調節可能である基盤およびライトガイドから成っているモジュラー構造を特色にします。それはレーザーの目撃システムとの容易な整列を特色にし、付加的な付属品のための必要性なしで最大10K-12K W/cm2 30K-35Kにプログラムされた強度の範囲のW/cm2を拡大できます。1。5 μ mの再現性で、特徴開始位置と終了位置を正確に記録します。ステッパーは、ウェーハの速度と精度を常に確保するために高度なモーションエンジンで設計されており、すべてのツーリングシステムに簡単に統合できます。その設計、機械構造、および制御単位は高精度および一貫した性能の条件を満たします。さらに、ステッパーには過熱保護、過圧保護、プロセス障害の自動検出などの安全機能が装備されています。6 μ mの微細な特徴を自動検出する高度なセンシング技術を搭載し、最大16ステップの回転を特徴としています。また、サードパーティ製のウェハソートシステムと組み合わせることで、ウェハハンドリングを容易にすることができます。1100Wウェーハステッパーは、優れたプロセス制御、歩留まりの向上、製品寿命の延長を実現し、半導体製造に最適です。これは、半導体産業の継続的な発展のための不可欠なツールです。
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