中古 ULTRATECH 1100 #9244754 を販売中

ULTRATECH 1100は、高性能なプレゼンスウェーハステッパーで、ユーザーは非常に汎用性と信頼性の高い方法で基板を自動的に整列および測定することができます。ミクロンレベルの精度と均一なスループットで、半導体ウェーハなどの薄い基板の加工に最適です。23インチの大型ステージを備えており、アライメントと測定を厳密に行うことができます。1100には、ウェーハマスクとデバイスレイヤーで基板表面の正確なスキャンライン配置とアライメントを可能にする自動アライメントシステムが付属しています。これにより、高い生産性と歩留まりが確保され、エラーや不適合が低減されます。ステッパーは、基板のエッジを正確に画像化し、最適なアライメントのための複雑な調整を行うための多層マッピングシステムで設計されており、最高レベルの精度を提供します。ULTRATECH 1100による処理を自動化し、アライメント、露出、測定を完全にデジタル制御できます。これにより、品質を犠牲にすることなくスループット率が向上します。ステッパーは、基板の堅牢な取り扱いを可能にするために、さまざまな真空技術で構成することができます。堅牢な設計により、反復可能な露出プロセスが保証され、基板間の品質の変化の可能性を最小限に抑えます。1100はまた詳細な点検および分析を容易にする高度のパターン認識システムを提供します。サーフェスマッピング機能により、オペレータはウェーハ間の性能を調べ、必要な調整を行うことができます。ステッパーには、基板の曲率を正確に測定するためのオンボードひずみゲージも装備されています。さらに、ULTRATECH 1100は優れた性能と微細加工プロセスとの幅広い互換性を提供します。酸化、埋め込み、エッチング、スピンコーティング、フォトレジストスピン技術など、幅広い加工技術をサポートしています。直感的なソフトウェアで、ステッパーは操作が簡単で、オンラインリソースでサポートされています。1100は、最高レベルの精度とスループットを提供する半導体加工のための信頼性の高いウェーハステッパーです。