中古 ULTRATECH 1100 #9238245 を販売中

ULTRATECH 1100は、先進的なディープUV （DUV）ドライフォトリソグラフィ装置です。ステッパーとスキャナ構成により、さまざまなウェハレベルで優れたイメージングとオーバーレイ精度を実現します。このシステムは、高度なウェハレベルチップスケール包装（WLCSP）、スルーシリコン（TSV）技術、超薄型ウェハ/テープレス接合など、幅広い用途に対応しています。1100は0。25ミクロン（μ m）の解像度まで高い画像解像度を提供することができます。さらに、20mmで0。3 μ mの市場で入手可能な最高のオーバーレイ精度を持っています。内蔵の光学ユニットは、ウエハエッジの歪みが画像精度に与える影響を最小限に抑える超低動作距離に最適化されています。また、ステッパーは、画像ベースの自己キャリブレーション（IBSC）だけでなく、クロマティックリストレインアライメント（CRA）の最新技術を組み込み、優れたイメージング性能だけでなく、環境の安定性と高い生産性を提供しています。ULTRATECH 1100ドライステッパーは、基板面積全体で0。1 μ m x 0。1 μ mの非常に精密な特徴をパターン化することができ、ステップ露出などの複数の露出技術を使用する必要がありません。このマシンのその他の機能には、高度な背景減算、焦点精度を向上させるためのAccu-Clampツール、最大15kHzのデータ入力周波数をサポートするVDA （Vertical Displacement Alignment）などがあります。1100には、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、高精度のフラットフィールド照明、および32ビットCMOSデジタルビデオキャプチャと最新の画像処理アルゴリズムをサポートする高度なカメラ資産が付属しています。フルモデルの生産性のために、ステッパーにはリモートI/Oインターフェイスとイーサネットリモートコントロールが装備されており、複数のシステム間のシームレスな移行を可能にします。さらに、ウルトラテック1100は、自動レンズ交換やモーター駆動など、さまざまな製造プロセスの特定のニーズに対応するさまざまな付加価値機能を備えています。包括的なステッパー機能により、1100は高精度のイメージング技術と高スループットスループットアプリケーションの両方を提供できます。