中古 ULTRATECH 1100 #9227856 を販売中
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ULTRATECH 1100は、集積回路を製造するための半導体ウェーハの正確なステップを提供することにより、マイクロエレクトロニクス業界を強化するために設計されたウェーハステッパーです。このパワフルなマシンは、操作性の向上、プロセス制御の改善、およびオンボード診断により、6インチウェーハでの高精度な操作が可能です。ウェーハステッパーのこのモデルは、+/-6 µm (AB)の位置決め精度と+/-3 µmのZレベル精度で設計されています。また、温度制御された真空チャック、プログラマブルフォーカス、高度な光学機器、および精密な非接触外部Z軸測定システムを備えています。ウェーハからレチクルへのアライメント、ウェーハからレチクルへのフェッチングルーチン、オートフォーカスルーチンなど、いくつかの自動化された機能を備えています。さらに、クラスタジョブ用のユーザーインターフェイス、コンピューター制御照明ユニットを提供し、オンボードプロセス監視による自動化されたプロセス制御を提供します。1100ウェーハステッパーは、接触リソグラフィ、レーザーリソグラフィ、Deep-UV (DUV)リソグラフィなどの複数のリソグラフィ技術を利用しています。これにより、ユーザーは特定のニーズに応じてパラメータと構成を設定できます。また、精度と再現性を確保するために多次元校正機を使用し、露出時間は0。2〜10秒です。統合されたカメラツールは、ユーザーがさまざまな角度と倍率でウェーハを表示することができます。この汎用性の高いウェーハステッパーは、チップ故障の試験、ウェーハの薄型化、集積回路の製造、半導体デバイスの製造など、半導体の加工とテストに幅広く使用されています。また、部品のレーザトリミングや検査・分析にも使用できます。ULTRATECH 1100は強力な3.8GHz Intelプロセッサで動作し、300 MHzの内部クロック速度で驚くべき動作速度を提供します。1100は最小サイズと重量で設計されており、さまざまな設定に簡単に統合できます。使いやすいインターフェイスと高度な機能により、正確で信頼性の高いマイクロエレクトロニクスコンポーネントを製造するための理想的なツールとなります。それによって、ユーザーは精密および正確さの電気および電子部品を作り出すことができます。
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