中古 ULTRATECH 1100 #9224143 を販売中

ULTRATECH 1100は、フォトリソグラフィープロセス用に設計された先進的なウェーハステッパーです。直径4〜8インチの幅広いウェーハ加工が可能です。ステッパーの特許取得済みの電動ヘッドステージは、正確なオーバーレイとステップ/リピートイメージングのために、ウェーハの正確な位置決めと再現可能なアライメントを可能にします。1100の真空タイトなウェーハ投げユニットは、最大限のウェーハ処理精度を実現するために設計されており、マイクロステップとマイクロダイナミックの動作が可能で、正確な位置決めが可能です。ステッパーには、最大30万ルクスの露出レベルをサポートする露出ユニットが装備されています。これは、露光時間の広い範囲と感度の様々なレベルを可能にします。ULTRATECH 1100は、潜在的なイメージモニター、レチクルアセンブリ、ハロー低減のためのメカニカルシャッター、ヘリウムフローキャリブレータ、微粒子を制御するためのガス分散ユニットなど、多くのワークステーションを備えています。また、サブミクロン位置決め精度が可能な精密ウェーハアライメントステージも備えています。この機能により、x軸とy軸のオーバーレイ制御が可能になり、一貫性のあるオーバーレイと適切なパターンが保証されます。1100は、24インチマスクを使用して最大16,000ステップを実行できます。ULTRATECH 1100は、生産アプリケーション向けの非常に柔軟で信頼性の高いウェーハステッパーです。高暴露レベルでも高速なサイクルタイムと精度を提供します。そのモーターを備えたヘッドステージは正確な位置決めを可能にし、高度な計測および検査システムは重要な精度を保証します。さらに、各ステップ/リピートサイクルは監視および検証され、使用するたびに一貫したパフォーマンスが保証されます。1100は、信頼性の高いパフォーマンス、柔軟性、および幅広い生産要件に迅速なサイクルタイムを提供します。