中古 ULTRATECH 1100 #9199939 を販売中

ULTRATECH 1100ウェーハステッパーは、製造中に半導体ウェーハの表面にパターンを転送するために使用される高精度、コンピュータ制御ツールです。このプロセスはフォトリソグラフィとして知られており、ULTRATECHはプロジェクションオプティクス、ソフトウェアベースの制御、真空チャックを使用して、小さなシリコンウェーハからハイテク部品を製造するために必要な正確な制御を可能にします。1100は、ナノメートルの精度でウェーハを移動および位置決めすることができます。このレベルの精度は、ライン間隔を縮小したパターンを生成するために使用できることを意味します。また、アライメント公差が小さい大型ウエハの高速パターニングにも使用でき、高密度の3D設計が可能です。ウェーハステッパーには、高度な投影アライメント装置（APAS）が含まれており、ウェーハとレチクルの両方の画像を読み取り比較して、最高品質の最終製品を保証することができます。ULTRATECH 1100は、石英、ポリイミド、クロムから作られたものを含むさまざまなレチクルと互換性があり、幅広い用途に対応する柔軟性を提供します。1100はまた、処理中に基板を所定の位置に保持するための標準的な12インチの大径ウェハチャッキングシステムが付属しています。このユニットは、アーカイブ処理中にウェーハがスランプや輪郭を崩さないようにします。さらに、ULTRATECH 1100は、ウェーハフォーカス自動マシンを備えており、表面全体で一貫した画質を保証します。1100は、最新の半導体製造プラントに不可欠なツールであり、ナノスケールの3Dデバイスパターニングに理想的な、信じられないほどの精度と機能を提供します。その洗練されたソフトウェアベースのコントロール、高度な投影アライメントツール、および12インチの大型チャックは、最適な歩留まりと最小限のスクラップを保証する優れた結果を提供します。