中古 ULTRATECH 1100 #9114895 を販売中

ULTRATECH 1100は、高度な半導体デバイスの精密生産のために設計された高度なウェーハステッパーです。この高度なツールは、高品質のリソグラフィ画像を作成するための効率的で費用対効果の高い方法を提供します。フォトリソグラフィ画像を薄いフォトレジスト層に正確かつ迅速に配置することで、ウェーハの製造時間を短縮できます。1100は、画像品質を最適化し、パフォーマンスを向上させる設計とスムーズに輪郭を描く光学機器を含みます。10〜12 mmのフィールド停止範囲を持ち、最大露出面積は8x6インチです。また、各フォトリソグラフィ画像の正確な配置を保証する自動アライメントユニットを備えています。これは、フォトレジストの複数の層の最も正確かつ効率的なアライメントを確保するために、高度なテレセントリック光学と可変数値開口機能を利用しています。また、NA （Numerical Aperture）が市場で最も高く、最大0。575に達し、複雑なパターンや細線形状の高解像度印刷が可能です。これにより、デバイス上で非常に小さな機能を生産することができます。さらに、望ましいフォトレジスト層のための均一で一貫した紫外線露光のための水晶レンズ要素を備えています。また、フォトリソグラフィの配置精度を確保するための高度な基板ステージングマシンを備えています。また、自動化された無人運転を可能にする統合基板処理ツールも備えています。このアセットにより、マシン上のウェーハのセットアップと配置にかかる時間が短縮されます。さらに、ULTRATECH 1100には、完全に統合されたプロセスデータ検証、衝撃および振動レベルを監視するデジタルアクセラロメータ、以前のジョブを保存およびレビューするための高度なデータベース、フォトレジストの各レイヤーをプレビューするウェーハイメージングモデル、パフォーマンス向上のためのLED照明などの高度なソフトウェア機能があります。これらの機能はすべて、1100を現在市場で入手可能な最も効率的で信頼性の高いウェーハステッパーにするために組み合わされています。