中古 ULTRATECH 1100 #130601 を販売中

ULTRATECH 1100は、Mapper Lithographyによって製造された最先端のウェーハステッパーです。この自動フォトリソグラフィックマシンは、0。5〜数ナノメートルのサイズの半導体基板に精密パターンを正確にエッチングμことができます。Meta 「Ultrafast」液浸リソグラフィをベースとした技術により、1100は没入型プロジェクションレンズを通して光を投影することで、このようなディテールを実現することができます。このレンズは、広い視野に均等に焦点を当てたビームを投影することができます。ULTRATECH 1100のスキャンシステムは、デカルト経路に従うように設計されており、± 3 μ mの再現可能な精度で最大2000mm/sの速度に達することができます。さらに、スキャン機には動的アスペクト補正が組み込まれており、基板サイズに関係なく、投影パターンが正確に表示されます。1100は、大規模な再構成可能なマスクプレートが装備されており、2つのイメージングモードを提供しています：1フォトマスクモードと1デジタルパターンジェネレータモード。フォトマスクモードでは、ユーザーはマシンにフォトマスクレイアウトをアップロードすることができ、イメージングはそのデザインに正確に従います。デジタルモードでは、イメージングは即座に行われ、複雑なジオメトリ設計を即座に作成できます。ULTRATECH 1100は、さまざまな基板の正確なパターン化を可能にするために、幅広いコーティングおよびエッチング材料をサポートしています。具体的には、SU-8、ポリイミド、BCBなどのフォトレジストや、シリコンタングステン、SiO2、 Si3N4などのドライエッチング材料をサポートしています。1100は高解像度イメージング用の10MP CMOSカメラを搭載しており、ユーザーはプロセス結果をリアルタイムで確認できます。カメラは、インラインOCRや欠陥検査を行うためにも使用できます。全体的に、ULTRATECH 1100は、精密イメージング機能、再構成可能なマスクプレート、幅広いコーティングおよびエッチング材料、高速スキャンおよび動的アスペクト補正により、半導体研究および高生産に理想的なステッパーです。