中古 ULTRATECH 1100 MVS #9130584 を販売中

ULTRATECH 1100 MVS
ID: 9130584
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6".
ULTRATECH 1100 MVSウェーハステッパーは、より高いスループット、より高い精度、およびデバイスの生成と変更に対する柔軟なアプローチのために特別に設計された中量生産ステッパーです。1100 MVSは、フォトマスク、ウェーハ、レチクルの高解像度の発光、暗場、および輝場の画像を生成することができ、集積回路(IC)の微細加工および高度なリソグラフィに最適です。ULTRATECH 1100 MVSウェーハステッパーは、最大15インチウェーハ、最大8。5インチフィールドサイズに対応できます。1100 MVSウェーハステッパーは、超高解像度の高度なマルチモードイメージングシステム(MMIS)を備えています。光学的に補償された光学スライドセクションが含まれており、超高解像度マッピングと精密アライメントを提供します。ULTRATECH 1100 MVSウェーハステッパーは、マルチステージI/Oドライバ、8ポジショングリッドステッピングモーター、および革新的なオンザフライレチクルアライメントシステムであるAutoAlignなど、高性能な設計を誇っています。UtratechのProSource 1200ウェーハステッパーは、超高速レチクルアライニング、画像減算、および画像ステッチに必要な追加のハンドリングおよびプロセス制御機能を提供します。1100 MVSウェーハステッパーは、スループットのための新しい標準を設定し、1時間あたり最大10ウェーハが可能です。より高いスループットを実現するだけでなく、これまで以上に高い精度、再現性、および全体的な精度レベルを提供します。ULTRATECH 1100 MVSウェーハステッパーには、直感的なユーザーインターフェイスとカスタマイズ可能な操作モードを提供する最先端のユーザーソフトウェアが装備されています。1100 MVS Wafer Stepperは、包括的なデータ処理とレポート作成パッケージを備えており、生産プロセスを包括的に把握するために正確な製品データレポートを生成できます。全体として、ULTRATECH 1100 MVSウェーハステッパーは、大容量の製造、高度なリソグラフィ、およびマイクロファブリケーションに最適です。その高性能な設計により、スループットと精度を最大限に高め、独自のマルチモードイメージングシステム(MMIS)、 AutoAlign、 ProSource 1200 Wafer Stepperを組み合わせて、最も要求の厳しい製造プロセスに最先端のソリューションを作成します。
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