中古 ULTRATECH 1014 #3278 を販売中

ULTRATECH 1014ウエハステッパーは、大容量のリソグラフィーおよび計測生産用に設計されたフルフィールドの高度なUV露光ツールです。この汎用性の高いプラットフォームは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの開発において、優れた性能、品質、およびスループットを提供するために設計されました。1014は0。5ミクロンの解像度と25nmエッジのステッチ精度でパターンを生成することができ、デバイスメーカーは業界最高のスループットと生産性を達成することができます。300mm/12インチのウェーハフィールドサイズと5Kw/12.5Kw用量の可用性により、広域カバレッジと高密度デバイスにも適しています。ULTRATECH 1014は、優れた焦点深度（DOF）とウェーハ側の歪みを可能にするULTRAFOUCS技術を搭載しています。この技術は、革新的な「リングフィールド」レンズシステムおよびその他の高度な機能を使用して、0。25ミクロンのライン/スペースパターンに費用対効果の高い堅牢なリソグラフィを提供します。1014はまた、優れた露出タイプの安定性と最大歩留まりを提供するように設計されています。接触、近接、シフト露光などの可変露光タイプがサポートされているため、欠陥の少ないウェーハを作成することができます。また、内蔵の計測システムを備えており、リアルタイムでプロセスを現場で監視できます。露出および計測機能に加えて、ULTRATECH 1014にはさまざまなオートメーションおよび制御オプションが付属しています。FLEX処理システムを使用すると、ユーザーはマシンをプログラムして、特定の要件に基づいて設定を自動的に調整できます。最適な露光条件の開発を支援するために、自動化された最適化ツールも利用できます。1014はまた、ウェーハの生産のあらゆる側面の詳細な画像をユーザーに提供する高度なビジョンシステムで設計されています。これは、検査中に特に有用である可能性があります、ユーザーは、任意の欠陥の場合に迅速な是正措置を取ることができます。全体として、ULTRATECH 1014は最適に設計されたウェーハステッパーであり、最高レベルの品質、スループット、信頼性をユーザーに提供します。高度なイメージングおよび計測システムにより、ユーザーは最高レベルのパフォーマンス、生産性、精度を達成できます。