中古 ULTRATECH 1000 #9396748 を販売中

ULTRATECH 1000は、高度な集積回路デバイスの製造に優れた性能と再現性を提供するように設計された高精度ウェーハステッパーです。ステッパーは高速かつ正確なリソグラフィーイメージングを提供し、高収量の生産のための正確なパターニングと金型配置を可能にします。1000は高度のパターン認識およびデジタル自動焦点、直接捕獲のカメラ、空気軸受け段階および高度の基質およびダイマッピングを含む高度の光学システムを、含んでいます。ワイドフィールドイメージング装置は真にマルチパターニングが可能で、1つのパターン化されたダイを介して効率的なマルチ露光を可能にします。極端な紫外線（EUV）源は、最大535 nmの波長分解能を作り出すことができる300ワットの光ランプを利用しています。ULTRATECH 1000は、最大341mm/秒の高速スキャン速度を保証する印象的なリニアモータ駆動ステージを備えています。そのクイックロック交換可能な光学系は、最大10 umピッチの優れたイメージング機能を提供します。レーザービジョンマップシステム技術は、ダイ配置精度のための0。1 µmまでのビジョンガイド自動登録を提供しています。EUV光源は、オプションのストップアンドゴーキネマティックレチクルハンドリングメカニズムと組み合わせることで、レチクル交換時の最小時間無駄を確保できます。取付けのMAGNAシールN2パージユニットは空気中の汚染に対する信頼性の高い保護を保証します。ステッパーの最新の統合制御機能には、ツールアラームセンシング、自動パターン配置、オートフォーカス校正、オーバーレイ管理マシン、およびSEMI準拠のウェーハジオメトリが含まれます。ブリード最適化機能を工具化するツールは、ツールのパフォーマンスを向上させるためにエアベアリングを制御します。1000はまた改善された欠陥の処理機能および複数のセンサーおよび独立した真空制御のためのサポートを提供します。先進技術を高度に統合したULTRATECH 1000は、高度なICデバイス製造プロセスにおいて、優れた再現性と歩留まり率を提供します。高速なプロセスパフォーマンスと高レベルの生産スループットにより、迅速なプロトタイピングが可能になり、多層デバイスのコスト効率の高い生産が可能になります。ステッパーには高度なソフトウェアモジュールが装備されており、いくつかのリソグラフィ製作ツールと互換性があります。