中古 ULTRATECH 1000 #9259720 を販売中

製造業者
ULTRATECH
モデル
1000
ID: 9259720
ヴィンテージ: 1984
Stepper 1984 vintage.
ULTRATECH 1000は、集積回路の製造に使用される最先端の高解像度ウェーハステッパーです。ステッパーは、自動操作装置、非常に高速なスキャンレート、および非常に正確なアライメントシステムを備えています。それは市場の他の多くの競争モデルより高いスループットおよび改善された決断を提供するように設計されています。このマシンは、ウェーハ上のほぼすべてのレイアウトを再現するために使用でき、ステッピングX -Yステージでウェーハを正確な位置に素早く移動させることができます。これは、X(クロススキャン)、Y(ロングスキャン)、Z(フォーカス)の3つの軸でウェーハを動かすステッピングモーターを制御することによって行われます。この精度により、立体製品を作成する際のレイヤーの正確なアライメントが可能になります。ステッパーには高速X-Yスキャンステージも備えており、以前のモデルよりも最大1000倍の速度でエリアをスキャンすることができます。ステッパーは、製造される回路の所望の画質と複雑さに応じて、4つの異なる解像度でウェーハに画像を転送する機能を備えています。これは、高度な光学ユニットによって可能になり、10nm以上の解像度の画像を生成することができます。ULTRATECH 1000のもう一つの重要な特徴は、レイヤーアライメントのための高度なマシンです。このツールは、ウェーハの異なるレイヤーを正確に整列させるために使用されるフィデューシャルアセットと、高速かつ正確なウェーハ間アライメントを実行するイメージオーバーレイモデルで構成されています。最後に、1000はコンピュータ数値制御(CNC)機器に関連付けられており、ユーザーフレンドリーな操作を提供するだけでなく、主に自動化されて使用するのに便利です。CNCは、機械の精度と信頼性を高めながら、動作に必要な時間を最小限に抑えます。結論として、ULTRATECH 1000は、市場の競合モデルと比較して高いスループットと改善された解像度を提供する高度なウエハステッパーです。レイヤーアライメントのための洗練されたシステムは、複雑な集積回路を作成するのに理想的ですが、高度に自動化されたユーザーフレンドリーです。
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