中古 ULTRATECH 1000 #9227855 を販売中
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ULTRATECH 1000ウエハステッパーは、フォトリソグラフィ、フォトリソグラフィー、検査に広く使用されている高精度リソグラフィーツールです。このマシンはウェーハを正確に配置して移動するように設計されており、リソグラフィ加工に不可欠なレベルの精度につながります。1000は、± 50ミクロンの再現性でウェーハの位置決めが可能で、優れた解像度を提供します。ULTRATECH 1000は、産業用グレードのX-Y-Z機械プラットフォーム上に構築され、高精度な位置決めと再現性のためのリニアモータで駆動されます。最大4つの露出を連続で実行するように設計されており、4x4「最大8x8」までの作業サイズに対応できます。ソリッドステートレーザー、UVソース、デジタルイメージング機器を搭載しています。1000は、Windows XPオペレーティングシステムを搭載したPCベースのコンピュータによって制御されます。様々なフォトリソグラフィや画像操作ソフトとの互換性が高く、様々なCADフォーマットを読み取ることができます。XとYのステージモーションコントロールユニットを装備しており、ステップサイズは0。1ミクロン程度で、10ミクロンから12インチまでの範囲で正確な動きを提供します。また、ウルトラテック1000には、異物検知機、非常停止スイッチ、露出ウェハの自動排出などの高度な安全機能を搭載しています。必要に応じて24時間、継続的かつ自律的に実行するように設計されています。また、長期間にわたって高精度に設計されており、主要部品は長期的な精度安定性のために構築されています。全体として、1000は機械構造、高度なデジタルイメージング、およびモーションコントロールツールの組み合わせで高精度と忠実性を提供する高度なウェーハステッパーです。フォトリソグラフィーアプリケーションに最適なツールであり、正確で再現性のあるフォトリソグラフィープロセスにさまざまな業界で使用できます。
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