中古 ULTRATECH 1000 #9217207 を販売中

ULTRATECH 1000はULTRATECHが製造したウェーハステッパーです。このステッパーは、レジストストリッピング、成膜、エッチング、コンタクトプリントなど、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに使用される汎用性の高い機械です。ステッパーは2軸XYステージで構成され、サブミクロン精度と微細な位置決めとアライメント機能を備えています。この装置は、200mmから375mmまでの基板サイズに対応できる高分解能イメージング機能を備えています。1000は精密な整列のための高度なモーターを備えた段階、基板配置のためのXY真空チャック、非接触、リアルタイム整列のためのクローズドループレーザー測定システムを含んでいます。ステッパーは高いトルクおよび速い応答時間の高度のリニアモーターを利用し、優秀な速度および正確さを提供します。また、高出力LED照明を採用し、最適な露光精度を実現しています。ULTRATECH 1000には、画像精度と品質を微調整するコンピュータ制御レーザーオートフォーカス機が搭載されています。レーザーオートフォーカスは、視野全体の精度を確保するために小さな画像異常を検出することができます。さらに、ステッパーには高度なデジタルサーボフィードバックツールが付属しており、ステージを動かすことなく正確な位置決めが可能です。ウェーハステッパーは、高度なレジストとエッチング最適化のための高度にプログラム可能な光学および露光システムも備えています。光学アセットは、レンズとフィルターの広い配列で適切な露出を保証します。この露光モデルは、光強度、持続時間、焦点範囲などの露光パラメータを変更することにより、幅広い用途に適した用量を提供することができます。1000は、最適な粘着性のない操作のためのハイブリッド駆動装置を利用しています。この機能により、システムは摩擦と振動を最小限に抑えて動作し、優れた精度と速度を提供します。さらに、ユニットには高度な制御ソフトウェアスイートが装備されています。このソフトウェアは、プロセスのセットアップと制御に使いやすい機能を提供し、ジョブプログラミングとプロセスレシピを内部メモリに保存することができます。ULTRATECH 1000は、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに使用できる堅牢で高性能なウェーハステッパーです。高度なリニアモータ、超精密レーザーオートフォーカス、光学マシン、および統合制御ソフトウェアを備えた1000は、ウェハハンドリングおよびリソグラフィ用途に最適です。