中古 ULTRATECH 1000 #9198399 を販売中
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ULTRATECH 1000は、フォトマスクやウエハの加工用に設計されたウルトラテック株式会社が製造するウェハステッパーです。0。5ミクロンの分解能と0。1ミクロンのステップサイズの高精度で精密な機械です。X軸とY軸のサブミクロン移動を可能にする高精度・高保守3軸駆動システムと、幅広い用途に対応する極めて低いサーマルドリフトを特長としています。1000は、他のウェーハステッパーから離れてそれを設定するいくつかの機能が付属しています。パターンをスキャンまたは転送する際に、ウェーハの高精度なアライメントと位置決めを可能にする5軸ステージを備えています。5軸ステージでは、ウェーハステッパー工程中に複数のマスクを配置することもできます。ULTRATECH 1000は、高精度のオートフォーカスカメラも備えており、正確で正確なパターン位置とジオメトリを確保するのに役立ちます。1000はまた敏感なウエハの保持を可能にする静電チャック、および正確な位置およびオリエンテーションのためのウエハのパターン化された整列の印を特色にします。静電気チャックは、処理中のウェーハの不要な動きを低減するのにも役立ちます。ULTRATECH 1000は、フォトリソグラフィや酸化エッチングなど、幅広いウエハステッパー加工が可能です。その優れた解像度、高いメンテナンス、低ドリフト、および複数のマスク配置の可能性により、マイクロエレクトロニクスやナノエレクトロニクスなどのアプリケーションに最適です。結論として、1000は優れた精度と信頼性を提供する高精度のウェーハステッパーです。その複数の機能により、幅広いウェーハステッピングアプリケーションを処理することができ、その5軸ステージは、ウェーハとマスクの正確なアライメントを保証します。静電気チャックは、不要な動きを低減し、ウェーハの安全なホールドを提供します。これらの機能と機能はすべて、ウェーハステッパーのニーズに最適で費用対効果の高いソリューションを探している企業に最適です。
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