中古 ULTRATECH 1000 #9187105 を販売中

ULTRATECH 1000は、5軸ステージインデクサを搭載したコンピュータ制御ウェハステッパーです。ステッパーは、露出のためにウェーハを正確に配置するために必要なすべてのプロセスを実行し、静的および動的アライメントオプションの両方が含まれています。この機械は、精密なウェーハ移動に最先端の高速モータを使用し、すべての作業で最高の精度を発揮します。1000の構造は堅い材料から、最高の耐久性および安定性のために造られます。ULTRATECH 1000は操作が簡単なユーザーフレンドリーなコントローラーインターフェイスを備えています。ウェーハのサイズに関係なく、アライメントや画像配置に最高の精度を提供します。これは、精密なステッピングモータ、高解像度エンコーダ、および最先端のスキャン制御装置のおかげです。ステッパーは、フラットまたはエッチングされたウェーハの両方をイメージングすることができます。高い精度のために、1000は高度なイメージングシステムを使用しており、ウェーハの機能のすべてのニュアンスを正確に検出できます。最高レベルの精度を確保するために、ステッパーは新しいレンズユニットを使用し、いわゆるオーバーレイエラーのようなプロセスパラメータの発生を最小限に抑えます。さらに、この強力なステッパーは、プロセスのどの部分も信頼性が悪くなったり、不正確になったりすると、ウェーハを素早く再画像することができます。ULTRATECH 1000には自動積載機も装備されており、ウェハの積み降ろしを容易にすることができます。このツールは、ウェーハの半径を検出し、自動的に変位を調整する光センサーを使用します。また、サーボコントロールアームを使用して、ローディング中にウエハが適切に装着されていることを確認します。1000のコントローラは、解像度、露光時間、電源設定を正確に操作できます。また、パターンレビュー、自動アライメント、メモリセーブ機能など、オートメーションのための多くの機能も含まれています。要するに、ULTRATECH 1000は、露出のためのウェーハの最も正確で正確な位置決めのために設計された強力な中間からハイエンドのウェーハステッパーです。高精度の新しいレンズモデル、ユーザーフレンドリーなコントローラインターフェース、自動読み込み装置、パターンレビュー、オートアライメント、メモリセーブ機能を備えた高度なイメージングアセットを備えています。