中古 ULTRATECH 1000 #9151433 を販売中

ULTRATECH 1000ウェーハステッパーは、半導体ウェーハに0。8 μ mという薄さの小さな導電性、誘電性、絶縁特性をパターン化するために設計された高性能リソグラフィ装置です。高度なフォトンイメージング技術を採用し、高いスループットと正確なフィーチャー配置を維持しながら、生産環境で実現可能な最高解像度を実現します。1000は独自の電子ビーム誘導蒸着（EBID）システムにより、優れた画像解像度を実現しています。このユニットは、ウェーハ上に材料を選択的に堆積させるために、単色光の一貫したエネルギー拡散の垂直統合を生成します。堆積層は正確なパターンを形成し、リソグラフィで使用されるマスクを正確に再現します。この機械は、大量の基板を正確かつ迅速に処理するように設計されています。シングルウェーハロードポートを備えており、幅広いウェーハサイズと基板に対応しています。これにより、貴重な生産時間を節約し、基板の積み降ろしに伴うコストを削減できます。ULTRATECH 1000のオートメーション機能も高いスループットに貢献します。ロボットアームは、ロードポートからウェーハを挿入および取得して処理サイクルを短縮できます。ウェーハ配置は、完全なリソグラフィーワークフローの一環として、高度なウェーハトラッキング技術を使用して自動化されています。これにより、スループットがさらに向上し、複数のウェーハを並列処理できるため、時間が節約されます。スループットをさらに向上させるために、1000は高度な制御機能を備えています。すべてのプロセスは電子的に監視され、機械の揺れや熱膨張によるずれを検出して修正します。工具の振動制御アセットで機械振動を分離することもできます。ULTRATECH 1000は操作の容易さのためにまた設計されています。その自動位置決めモデルは、生成されたパターンがリソグラフィで使用されるマスクと同一であることを保証するために、すべての環境影響を考慮に入れています。さらに、機器には、簡単なセットアップと操作のための直感的なメニュー駆動のユーザーインターフェイスが付属しています。全体的に1000は、半導体ウェーハ上で小型で高精度な機能を生成するための強力で高度なツールです。優れたイメージング技術、高速オートメーション、柔軟な制御機能により、優れたスループット、解像度、精度をユーザーに提供します。