中古 ULTRATECH 1000 #9004070 を販売中

ULTRATECH 1000ウェーハステッパーは、高解像度フォトリソグラフィ用に設計されています。1ミクロンのシータステージを採用しており、極めて精度の高いアライメントと微細なパターンをウェーハ上に配置することができます。1000は、デュアルカメライメージングシステムを備えた高度な光学機器と、各写真層の露出レベルを自動的に調整できる独自の輝度制御を備えています。ULTRATECH 1000には、ウエハー上のさまざまな露出フィールド間を素早くサイクルできる超高速レゾナントスキャナが搭載されています。また、ウェーハイメージの登録精度を高めるための高度な特許出願中の画像変換アルゴリズムも備えています。このアルゴリズムは、露出プロセス中のウェーハ表面または温度のわずかな変化による歪みを自動的に補償します。さらに、ステッパーには、さまざまな露出設定のための特許取得済みのTurboChromaticデュアル波長LED光源があります。ステッパーには、4軸スキャンヘッド、可変深度スキャナ、特許取得済みのAdvanced Zone Scanning （AZS）機能など、その高精度に貢献する他のいくつかの機能も装備されています。AZS機能は、ウェーハ上のさまざまなゾーンをスキャンする機能をユーザーに提供し、露出範囲を拡大します。さらに、このユニットにはキャリブレーションユニットが内蔵されており、露出レベルと設定を定期的に調整できます。1000は、露出フィールドの独自の高信頼性同期を内蔵した本番環境での使用にも適しています。ULTRATECH 1000ウェハステッパーには、Windowsベースのビデオグラフィック操作ソフトウェアやグラフィックユーザーインターフェイスなど、ユーザーフレンドリーな機能があります。インターフェースにより、露出設定を簡単に制御でき、1つのポイントまたは複数のポイント露出で動作できます。さらに、ステッパーには独自のSynchronized Spreading Machineがあり、重複露出によるホワイトウォッシュ効果を低減します。全体的に1000ウェーハステッパーは、高精度のフォトリソグラフィープロセスを可能にする洗練されたユーザーフレンドリーなマシンです。ULTRATECH 1000は、デュアルカメライメージングツール、AZS機能、その他多くの機能を備えたエンタープライズグレードのウェハステッパーで、プロトタイピング、生産、およびウェハレベルのパッケージングアプリケーションに優れた再現性と解像度を提供します。