中古 ULTRATECH 1000/ 1100/ 1500 #9111083 を販売中

ULTRATECHシリーズは、フォトリソグラフィ加工の世界的リーダーであり、導入以来業界標準となっています。ULTRATECH 1000/1100/1500は、すべての世代の高性能ステップアンドリピートスキャン装置で、多数の小さな（または大きな）チップパターンを作成するのに最適です。ULTRATECHウエハステッパーは、短いサイクルタイムと高速スループットを備えたステッピングシステムです。モーションコントロールユニットは、精密リニアモータを使用して滑らかで正確な動きを実現し、高精度のオーバーキャンを実現しています。レーザースキャナーは、プロセス最適化のためのさらに正確なスキャンフォーカスとレチクルマスキングの低コストを提供します。1000/1100/1500はまた、画像転送精度を最適化するために、統合されたプリアライメントおよびポストアライメント処理を含む高度な画像処理方法を提供します。ULTRATECHは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたソフトウェアも備えており、操作が簡単です。大型液晶タッチパネルを搭載しており、オペレータが簡単にプロセスパラメータを調整できます。このソフトウェアには統合されたレシピエディタが含まれているため、ユーザーはカスタム処理レシピをすばやく簡単に作成できます。ULTRATECHシリーズには高精度のアライメントマシンが搭載されており、重要なオーバーレイ情報を正確にフォーカスして取得することができます。アライメントツールを構成する磁石とモーターは、安定した正確な性能を保証します。ULTRATECHシリーズは、最大5〜10 umの解像度で印刷できます。このマシンは、1時間あたり最大250ウェーハのスループット速度が可能で、大量生産に適しています。その再現性により、正確なバッチ・ツー・バッチのモーションコントロールが保証されます。全体として、ULTRATECH 1000/1100/1500ウェハステッパーは、チップ上の回路をパターン化するための高性能で費用対効果の高いフォトリソグラフィーツールです。高い精度と再現性により、毎回正確なチップパターンを保証します。