中古 TAMARACK M304 #9398334 を販売中

TAMARACK M304は、マイクロチップ業界向けに特別に設計された高度で信頼性の高い光学ステッパーです。ステッパーは高精度の配置装置を使用し、デバイスの完了プロセス中に最高の精度と再現可能な精度を保証します。そのマルチカメラ、5軸モーションシステムは、高速スループット率を可能にし、高収率の製品の生産を容易にします。M304は、最大8インチのウェーハに対応できる200mmウェーハステージを備えています。ステッパーには、すべてのウェーハサイトでダイ減衰制御用のカスタム露出カラムも含まれています。この露出カラムはまた、露出プロセス中の露出エラーの可能性を低減する高忠実度ブロードバンド露出を可能にします。さらに、統合されたマイクロレンズスキャンユニットは、ピクセル収差を最小限に抑え、各ダイが正確な露出を確実に受信するのに役立ちます。この機械の高いフレキシアレベル補償機構は、最大1ミクロンの位置ずれを補正することができ、ウェハスクラップの削減に役立ちます。また、50 kHzの多軸スキャンステージを備えており、各ウェーハサイトで高速でダイナミックスキャンを容易にします。さらに、このツールの多分解能イメージングパスにより、超高解像度のイメージングが可能になり、1秒未満で画像を取得できます。このステッパーは、露出時間とフォーカスエラーを削減するために設計された高度なターゲット認識およびフォーカス開発アルゴリズムも提供します。さらに、アセットにはマルチゾーン線量制御モデルがあり、ユーザーは各ウェーハサイトで線量レベルを調整することができます。ステッパーには、画像の配置精度とスループットに不可欠な非常に精密で繰り返し可能な真空および負荷/アンロード機能も含まれています。TAMARACK M304は、高度な機能と非常に高精度を提供し、マイクロチップ用途に最適です。その5軸動作装置と独自の露出カラムは、高いスループットと優れた歩留まりを提供し、スキャンおよび線量制御機能は正確な露出を保証します。その特徴はまた、経験豊富なオペレータと新しいウェーハステッピング技術の両方で使いやすいことを可能にします。