中古 SQJ MDLAT 4000 ER #9388361 を販売中

SQJ MDLAT 4000 ERは半導体および集積回路の生産で使用されるステッパーです。高解像度の立体ウエハを高精度に製造することができます。精度の高い複雑なパターンを数多く重ねたウェーハを製造することができます。その動作は、射影リソグラフィの原理に基づいており、これはマスクの射影画像をターゲット材料に投影することを含みます。マスクは可変強度ビームで照らされ、照射する光はコリメート光源によって決定されます。光線の角度、サイズ、強度は、マスクのパターンに合わせて調整できます。MDLAT 4000 ERには、精度と精度を最大化するいくつかの機能があります。レチクルステージは非常に高い位置精度と角度精度を備えており、レチクルデマンドドライブユニットは輸送中の振動や応力の不規則性を効果的に回避します。電動レチクルアライメントクランプは、高い力容量でレチクルを従事させ、正確なレチクルロケーションとアライメントを容易にします。SQJ MDLATには、光強度とビームサイズを迅速に調整する自動コリメーターキャリブレーションと、レンズマスクコーティングが搭載されており、絶え間なく連続した光の露出層を確保します。また、複雑な光学システムと、最大6400万画素の異なるピクセルを検出して処理できる高効率検出器アレイを備えています。SQJ MDLAT 4000 ERの精度と汎用性は、最先端の半導体生産のための貴重なツールです。高解像度のウエハや高精度なパターンを必要とする集積回路を高精度に生産することができ、今日の進化し続ける技術市場の要求に応えます。