中古 SCREEN RF-300A #9355372 を販売中

SCREEN RF-300A
製造業者
SCREEN
モデル
RF-300A
ID: 9355372
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
i-Line track system, 12" 2005 vintage.
SCREEN RF-300Aは、SCREENセミコンダクターソリューションズが製造する最先端のウェーハステッパーです。半導体基板上のパターンを効率的かつ正確にマッピングし、メモリチップ、アナログおよびデジタルIC、高性能ロジック回路などの高集積回路を作成するように設計されています。この高度なウェーハステッパーには、サブミクロン精度を提供する高度なアライメント装置が装備されており、微細な機能、高密度、一貫性のある回路パターンの高度な作成を可能にします。RF-300Aは、ステップレーザービームと高出力レーザー露光を利用して、基板上の回路パターンを正確にマッピングします。このパターン露出は、単一のステップまたは複数のステッププロセスで行うことができ、完全なフィールドまたは定義済みの領域で露出することができます。高度なステッパーは、高精度の光学顕微鏡を使用して、基板に回路設計を光学的に整列させます。この光学アライメント処理は、選択した基準点に合わせて既に露出したマスクをシフトすることによって達成される粗いアライメントと、イメージングパターンを基板に重ね合わせることによって達成される微細なアライメントの2つのステップで行われます。このマルチパスプロセスにより、基板上に回路設計を正確に配置でき、製造プロセス全体でパターン定義を維持できます。また、基板のフルフィールドイメージングが不要な高解像度ビジョンシステムを搭載したSCREEN RF-300Aは、回路設計を適切に整合させることができます。さらに、最先端のフォトマスクは、高出力の露出に最適なパターンカバレッジを提供し、製造コストの削減に役立ちます。最後に、RF-300Aには高度なプログラマブルコントローラも含まれており、オペレータはパターン露出時間やキャリブレーション設定などのパラメータを簡単に設定および調整できます。全体として、SCREEN RF-300Aウェーハステッパーは、精度、再現性、スループットに優れた複雑で精密な回路パターンを生成できる高度な製造ツールです。さらに、アライメントユニット、ビジョンマシン、フォトマスクなどの最先端の機能により、RF-300Aは半導体製造のための貴重なツールであり、あらゆるハイテク生産施設で必須のツールです。
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