中古 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9209082 を販売中

SCIVAX Flan-200-U100-4は、半導体部品の製造に使用される特殊なウェーハステッパーです。様々な素材で高精度・高性能なパターンを生産できる汎用性の高い機械です。このマシンは200mmの4インチウェーハステージを備えており、最大100Wのパワーを発揮します。層間精度は1マイクロメートル以内で、ステッパーは0。4マイクロメートルまでの高解像度機能を提供します。このマシンは、ウェーハまたは基板層に正確なマイクロレベルの特徴とパターンを作成するように設計されています。また、高アスペクト比の構造をパターン化することも可能です。処理中のウェーハの正確な位置決めとナビゲーションを保証するイメージアンプを装備しています。光学システムは、サブミクロン精度の高速スキャン用に設計されています。このマシンは、最大のオーバーレイ精度のために可変形状ゾーンプレート（VZP）イメージングシステムを使用しています。ステッパーは、MEMSデバイスの製造から半導体デバイスのパッケージング、基板ルーティングまで、幅広い用途に適しています。ポリマー、金属、セラミックなど、様々な素材を扱うことができます。薄膜と厚膜の両方で優れた性能を発揮し、ドライエッチングにも対応しています。ステッパーの最大パターンサイズは200 x 200 mm、最大露光速度は0。4マイクロメートル/秒、最大解像度は0。2マイクロメートルです。ステッパーは、スポットサイジングと検出性のための欠陥検査ツールを含む、高度な分析ツールの数を備えています。画像強度ツールは、画像が正確でノイズのないことを保証します。さらに、ステッパーには自動化されたキャリブレーション機能があり、機械の精度を時間とともに維持するのに役立ちます。Flan-200-U100-4は、幅広い素材で多種多様な精密なマイクロレベルのパターンを生成することができる高度なウェーハステッパーです。多くの半導体生産要件に適しており、優れた精度と性能を提供します。